2019年8月發(fā)布的ISO 14644-3是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境系列標(biāo)準(zhǔn)的一部分，旨在提供潔凈室和潔凈區(qū)的測(cè)試方法，以滿足空氣潔凈度分類及其他潔凈屬性要求。特別地，該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了高效過濾器（HEPA/ULPA）的檢漏測(cè)試方法，以確保這些過濾器在安裝和使用過程中無泄漏缺陷，從而維持潔凈室的環(huán)境完整性。
· 標(biāo)準(zhǔn)背景 ·
ISO 14644-3 的范圍包括對(duì)潔凈室和潔凈區(qū)的性能測(cè)試，涵蓋單向流和非單向流潔凈室/區(qū)的三種狀態(tài)：建造完成（as-built）、靜止（at-rest）和運(yùn)行（operational）。標(biāo)準(zhǔn)指定了測(cè)試設(shè)備、程序以及可協(xié)商的替代方法（不一定等效）。需要注意的是，該標(biāo)準(zhǔn)不適用于潔凈室或隔離裝置中產(chǎn)品或過程的測(cè)量。
· 測(cè)試方法 ·
高效過濾器的檢漏測(cè)試是ISO 14644-3 中的關(guān)鍵部分，旨在驗(yàn)證過濾器安裝正確且無泄漏。標(biāo)準(zhǔn)提供了兩種主要方法來執(zhí)行高效過濾器的現(xiàn)場(chǎng)檢漏測(cè)試：
氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法（DOP測(cè)試）
· 原理：通過氣溶膠光度計(jì)測(cè)量過濾器上游和下游的氣溶膠濃度比，確定是否存在泄漏。
· 程序：在過濾器上游引入氣溶膠，然后使用連接光度計(jì)的探頭掃描過濾器表面，檢測(cè)任何泄漏點(diǎn)。
· 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：通常定義泄漏為滲透率超過上游挑戰(zhàn)濃度的0.01%。根據(jù) 相關(guān)資料表明，該方法適合檢測(cè)至0.003%的泄漏，最大允許泄漏設(shè)定為0.01%，但對(duì)于更高等級(jí)的過濾器，可能采用更嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。
· 優(yōu)勢(shì)：廣泛使用，操作相對(duì)簡(jiǎn)單，適合大多數(shù)潔凈室應(yīng)用。
粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試法
· 原理：使用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量過濾器下游的顆粒數(shù)，提供更高的靈敏度以檢測(cè)極小的泄漏。
· 程序：與光度計(jì)法類似，引入氣溶膠后，使用粒子計(jì)數(shù)器掃描下游側(cè)，記錄通過過濾器的顆粒數(shù)。
· 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：基于檢測(cè)到的顆粒數(shù)，滲透率可低至0.000005%，適合ISO 4級(jí)及以下的超潔凈環(huán)境。
· 優(yōu)勢(shì)：靈敏度更高，特別適用于需要極高潔凈度的應(yīng)用。
題-1.jpg)
· 關(guān)鍵要求 ·
為了確保測(cè)試的準(zhǔn)確性和一致性，ISO 14644-3 規(guī)定了以下關(guān)鍵要求：
· 氣溶膠挑戰(zhàn)：氣溶膠必須均勻分布并在上游充分混合。濃度隨時(shí)間變化的偏差不得超過±15%。常用氣溶膠包括PAO、DEHS、DOS等，具體選擇取決于測(cè)試設(shè)備和應(yīng)用。
· 掃描程序：需掃描過濾器的整個(gè)表面，包括密封墊、框架和介質(zhì)。掃描速度通常約為15/WP厘米/秒，其中WP為探頭寬度（垂直于掃描方向）。例如，對(duì)于3厘米見方的探頭，掃描速度約為5厘米/秒，確保全面覆蓋。
· 泄漏定義：泄漏通常定義為滲透率超過0.01%，或超過上游挑戰(zhàn)濃度的10^-4倍。對(duì)于高效率過濾器（如H14或U15），驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)可能更嚴(yán)格。例如，根據(jù)相關(guān)資料，對(duì)于H14過濾器（介質(zhì)滲透率為0.005%），泄漏可能被認(rèn)為是介質(zhì)滲透率的五倍，即0.025%為不可接受的泄漏。而對(duì)于U15過濾器（介質(zhì)滲透率為0.0005%），泄漏可能為0.0025%為不可接受。
· 測(cè)試設(shè)備：標(biāo)準(zhǔn)要求使用符合規(guī)范的光度計(jì)或粒子計(jì)數(shù)器，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。設(shè)備需定期校準(zhǔn)以符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
· 替代方法：標(biāo)準(zhǔn)允許客戶和供應(yīng)商協(xié)商替代測(cè)試方法，但這些方法不一定等效，需在協(xié)議中明確。
· 實(shí)施細(xì)節(jié) ·
標(biāo)準(zhǔn)允許客戶和供應(yīng)商協(xié)商替代測(cè)試方法，但這些方法不一定等效，需在協(xié)議中明確。
· 測(cè)試頻率：雖然ISO 14644-3未明確規(guī)定測(cè)試頻率，但根據(jù) 實(shí)際應(yīng)用情況，ISO 5至8級(jí)的潔凈室通常建議每年或每半年測(cè)試一次，具體取決于潔凈室的使用和監(jiān)管要求。
· 適用場(chǎng)景：這些測(cè)試方法適用于潔凈室安裝后的驗(yàn)證和定期維護(hù)，確保過濾器無缺陷，保護(hù)產(chǎn)品和人員免受顆粒污染。特別適用于制藥、微電子、醫(yī)療和食品生產(chǎn)等行業(yè)。
· 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)試過程中可能參考其他標(biāo)準(zhǔn)，如ASME N510-1989和IEST-RP-CC034.1:1999（用于空氣-氣溶膠混合測(cè)試細(xì)節(jié)），以確保測(cè)試的全面性和一致性。
· 對(duì)比與適用性 ·
|
以下表格總結(jié)了兩種測(cè)試方法的對(duì)比 |
||
|
測(cè)試方法 |
光度計(jì)法 |
粒子計(jì)數(shù)器法 |
|
適用范圍 |
適用于大多數(shù)潔凈室等級(jí) |
適合ISO 4級(jí)及以下超潔凈環(huán)境 |
|
靈敏度 |
0.003% |
0.000005% |
|
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) |
滲透率≤0.01% |
基于顆粒數(shù)，極低滲透率 |
|
優(yōu)勢(shì) |
操作簡(jiǎn)單，廣泛使用 |
靈敏度高，適合高潔凈要求 |
· 小結(jié) ·
ISO 14644-3 提供了標(biāo)準(zhǔn)化的高效過濾器檢漏測(cè)試方法，通過氣溶膠光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)法，確保過濾器在潔凈室中的完整性和性能。測(cè)試需遵循嚴(yán)格的程序和設(shè)備要求，適用于安裝驗(yàn)證和定期維護(hù)，保護(hù)潔凈環(huán)境的安全性。研究表明，這些方法在制藥和微電子等行業(yè)中至關(guān)重要，確保空氣潔凈度和產(chǎn)品安全性。
【免責(zé)聲明】
文章來源：網(wǎng)絡(luò)文章
上述內(nèi)容僅供交流學(xué)習(xí)使用，對(duì)文中陳述、觀點(diǎn)判斷保持中立，不對(duì)所包含內(nèi)容的準(zhǔn)確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。僅作參考，并請(qǐng)各位自行承擔(dān)全部責(zé)任。版權(quán)歸原作者所有，如遇版權(quán)問題請(qǐng)聯(lián)系小編刪除。